1. Fina mehanska obdelava delov
Ko je natančnost obdelave finih delov v nanometrih in končno v atomskih enotah (razmik atomske rešetke je 0,1~ 0,2 nanometrov), se metode rezanja ultra finih delov ne morejo več prilagajati. Treba se je zanašati na posebne metode obdelave finih delov, torej na uporabo kemične energije. , Elektrokemična energija, toplotna energija ali električna energija itd., da ta energija presega vezno energijo med atomi, da se odstrani adhezija, vezava ali deformacija rešetke med lokalnimi atomi na površini obdelovanega dela, da bi dosegli namen ultra fine obdelave. Ta vrsta obdelave vključuje mehanokemično poliranje, ionske sputtering in ionske implantacije, izpostavljenost elektronskega žarka, obdelavo laserskega žarka, izhlapevanje kovin in epitakse molekularnega žarka.
2. Rezanje finih mehanskih delov
V glavnem vključuje fino obračanje, brušenje ogledal in brušenje. Mikro obračanje se izvaja na finem tokarju z natančno zmletim enojnim kristalnim orodjem za obračanje diamantov. Debelina rezanja je le približno 1 mikron. Pogosto se uporablja za obdelavo neželeznih kovinskih materialov, kot so sferne površine, asferična vojna površinska ogledala in drugi visokonatančni deli s površinami z visokim sijajem. . Asferično ogledalo s premerom 800 mm za jedrsko fuzijsko napravo ima na primer največjo natančnost 0,1 mikrona in površinsko hrapavost Rz 0,05 mikronov.
